第四百一十四章 电子产业的差距并不大 (第2/2页)
子激光作为光源，这可以将最小工艺节点提升至零点一微米的水平，这台设备在光刻工艺上采用的是扫描投影式光刻，也是现在光刻机通用的一种，�
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子激光作为光源，这可以将最小工艺节点提升至零点一微米的水平，这台设备在光刻工艺上采用的是扫描投影式光刻，也是现在光刻机通用的一种，�
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